快速退火炉的作用，快速退火炉详细介绍

快速退火炉是利用卤素红外灯做为热源，通过极快的升温速率，将晶圆或者材料快速的加热到300℃-1200℃，从而消除晶圆或者材料内部的一些缺陷，改善产品性能。快速退火炉采用先进的微电脑控制系统，采用PID闭环控制温度，可以达到极高的控温精度和温度均匀性，并且可配置真空腔体，也可根据用户工艺需求

2023-09-01 281

LarcomSE伟德国际BETVlCTOR;SEMICON CHINA 2023展会回顾

2023-08-05 136

RTA设备结构和原理

快速热处理（Rapid Thermal Processing）■ RTA：Rapid Thermal Annealing 快速热退火；快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA■ RTO：Rapid Thermal Oxidation 快速热氧化主要用于生长薄绝缘层；快速退火、RTP、RTA，快速退火炉RTP，快速退火炉RTA■ RTCVD：Rapid Thermal CVD 主

2023-05-03 431

2022年8月深圳会展中心中国电子信息博览会-伟德国际BETVlCTOR

中国电子信息博览会（中文简称：电博会，英文简称：CITE），是展示全球电子信息产业最新产品和技术的国家级平台，经过十年努力，现已成为亚洲规模最大、产业链最全、活动内容最丰富的、影响力提升最快的电子信息博览会，也是行业领先，具有国际影响力的电子信息行业年度盛会。--行业领先、亚洲第一、世界一流--伟德国际BETVlCTOR成立于2018年，位于上海市浦东新区，公司专注于半导体芯片设备的研发、生产

2022-08-31 量伙Z 563

快速退火炉的主要技术、行业特点

行业特点：芯片热处理设备（真空快速退火炉）广泛应用在IC晶圆、LED晶圆、MEMS、化合物半导体和功率器件等多种芯片产品的生产，和欧姆接触快速合金、离子注入退火、氧化物生长、消除应力和致密化等工艺当中，通过快速热处理以改善晶体结构和光电性能，具有技术指标高、工艺复杂、专用性强的特点。产品特点：快速退火炉,RTP,RTA,快速退火炉RTP,招聘1、真空快速退火炉，有真空型号(10mTorr )；快速

2022-03-08 量伙Z 473